PA6/PA66 在半导体无尘车间的应用

PA6/PA66，在半导体无尘车间都有哪些应用？能不能满足无尘车间的高要求？毕竟半导体无尘车间，对材料的要求特别高，不能有污染，不能有静电，不能有粉尘，今天我们就来把这个问题讲清楚：

一、PA6/PA66，为什么适合半导体无尘车间的需求

1.低析出低污染的特性

经过改性的 PA6/PA66，能做到非常低的 VOC 和低析出，不会有小分子的物质从材料里跑出来，不会污染无尘车间的洁净环境，也不会对晶圆、芯片造成污染，完全能满足百级、十级无尘车间的污染控制要求。

2.高等级的防静电能力

我们的改性 PA6/PA66，能做到稳定的防静电性能，表面电阻可以稳定控制在 10^6~10^9Ω/sq，刚好是静电消散的等级，不会产生静电，不会吸附灰尘，也不会因为静电放电，打坏精密的芯片，完全满足半导体行业的防静电要求。

3.耐清洗耐消毒的性能

无尘车间的制品，需要经常用消毒液、IPA 酒精来清洗消毒，改性的 PA6/PA66，能扛得住这些消毒液的腐蚀，不会发胀，不会老化，也不会有物质析出，清洗很多次，性能都能保持稳定，能长期的在无尘车间里使用。

二、PA6/PA66，在半导体无尘车间的核心应用场景

1.周转承载类的应用

这是无尘车间里用的最多的场景，比如 IC 周转托盘、晶圆承载盒、料盒、芯片收纳盒，这些制品，用改性尼龙来做，能做到防静电，不会有静电损伤芯片，同时，低析出，不会污染芯片，而且，耐摔，就算掉地上，也不会碎，不会产生粉尘，能很好的保护芯片和晶圆。

2.传输传动类的应用

在无尘车间的传输线上，很多的配件，比如传输带的滚轮、传动的齿轮、轴承、导轮，这些，用改性尼龙来做，有很好的自润滑性能，不用加润滑油，不会有油污的污染，同时，耐磨，用很久都不会磨损，不会产生粉尘，完全满足无尘车间的要求。

3.结构防护类的应用

无尘车间的设备配件，比如设备的外壳、防护罩、门的配件、把手，这些，用改性尼龙来做，能做到防静电，不会产生静电，同时，低析出，不会污染环境，而且，重量轻，安装方便，能很好的满足设备的防护需求。

三、半导体无尘车间用的尼龙，该怎么选

1.普通百级无尘车间的选型

针对普通的百级无尘车间，比如普通的芯片组装车间，我们可以选用普通的低析出防静电 PA6 材料，这个材料的成本低，能满足低污染、防静电的要求，完全能覆盖大部分的周转、传输配件的需求。

2.高等级防静电的选型

针对高等级的防静电需求，比如要做静电消散的晶圆承载盒，我们可以选用高等级的永久防静电 PA66 材料，这个材料的防静电性能很稳定，不会随环境的温湿度变化，能长期的保持稳定的表面电阻，满足高等级的防静电要求。

3.耐高温制程的选型

针对需要过高温制程的制品，比如要过烘烤制程的承载盒，我们可以选用耐高温的防静电 PA66 材料，这个材料的耐温能到 150℃，能扛得住高温的制程，不会变形，同时，防静电、低析出的性能，也能保持稳定。